一、產(chǎn)品概述

GLD-202AA是日本ULVAC愛發(fā)科公司推出的一款面向中低真空領(lǐng)域的高功能型油回轉(zhuǎn)真空泵，屬于GLD系列中的代表性型號。該型號采用兩級排氣系統(tǒng)，擁有高性能、低振動、低噪聲的特點，同時搭載了氣鎮(zhèn)閥、防逆流機制、強制供油機構(gòu)和大號油液位計等多項實用功能。寬電壓馬達的設(shè)計使其能夠在全球不同電壓標準下靈活應(yīng)用，符合CE和TUV等多項國際認證要求。

作為直聯(lián)式油旋片真空泵，GLD-202AA的工作原理是通過轉(zhuǎn)子帶動葉片在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，利用油進行密封、潤滑和冷卻，將氣體從進氣口吸入、壓縮后從排氣口排出。該泵設(shè)計緊湊、運行穩(wěn)定，廣泛應(yīng)用于實驗室分析、工業(yè)制造、半導(dǎo)體加工和真空鍍膜等領(lǐng)域。

二、核心技術(shù)規(guī)格

GLD-202AA的詳細技術(shù)規(guī)格如下表所示：

注：極限壓力為皮拉尼真空計的測量值。若采用麥克勞德真空計測量，極限壓力在1.3 Pa以下的泵數(shù)值會低一個數(shù)量級。

三、核心功能特點

3.1 氣鎮(zhèn)閥（Gas Ballast Valve）—— 水蒸氣處理能力

氣鎮(zhèn)閥是GLD-202AA最為突出的功能配置之一，也是本型號被稱為“高功能規(guī)格"的重要標志。氣鎮(zhèn)閥的工作原理是在泵的壓縮腔中引入受控量的空氣或惰性氣體，這一氣體在壓縮階段與抽入的工藝氣體混合，從而提高混合氣體的露點，阻止水蒸氣及其他可凝性蒸氣在泵腔內(nèi)凝結(jié)溶解于真空泵油中。

氣鎮(zhèn)閥的作用體現(xiàn)在兩個方面：

保護真空泵油免受污染：當泵抽入含有水蒸氣或有機溶劑蒸氣的混合氣體時，在壓縮過程中這些蒸氣可能因分壓達到飽和而在泵腔內(nèi)凝結(jié)成液態(tài)，進而溶解并污染真空泵油。氣鎮(zhèn)閥通過在壓縮階段引入干燥空氣，降低了可凝性組分的分壓，使其在排氣過程中保持氣態(tài)并順利排出泵外，從而有效防止水分和可凝性物質(zhì)溶入泵油。

維持極限真空度：當氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉時，GLD-202AA的極限壓力可達0.67 Pa，滿足對極限真空度要求較高的工藝需求；當氣鎮(zhèn)閥打開時，極限壓力為6.7 Pa，此時泵體內(nèi)可凝性蒸氣的排除效率高。用戶可根據(jù)工藝氣體的成分選擇合適的閥位，在真空度與耐污染性之間取得平衡。

氣鎮(zhèn)閥的存在使GLD-202AA在需要處理含有水蒸氣或溶劑的工藝中具有顯著優(yōu)勢，例如真空干燥、冷凍干燥和化學(xué)實驗室的旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)等應(yīng)用場景，能夠顯著延長真空泵油的使用壽命和維護周期。

3.2 兩級排氣系統(tǒng)

GLD-202AA采用兩級排氣系統(tǒng)，兩個排氣腔串聯(lián)工作。第一級泵腔將氣體壓縮至中間壓力后輸送至第二級泵腔，第二級泵腔進一步將氣體壓縮至大氣壓以上后排出。兩級結(jié)構(gòu)與單級排氣系統(tǒng)相比，能夠獲得更低的極限壓力（0.67 Pa vs 單級通常為數(shù)帕量級），真空性能明顯更優(yōu)。

3.3 防逆流機構(gòu)

GLD-202AA內(nèi)部集成了防逆流機構(gòu)，在因停電或人為緊急停機時，該機構(gòu)可自動切斷進氣通道，有效防止真空泵油在壓力差作用下逆流至真空腔體內(nèi)部。這一設(shè)計對于保護真空腔體、避免樣品污染具有重要意義，尤其在半導(dǎo)體制造和實驗室分析等對潔凈度要求較高的應(yīng)用中尤為關(guān)鍵。

3.4 強制供油機構(gòu)

GLD-202AA搭載了強制供油機構(gòu)，通過泵體內(nèi)部油路將真空泵油精確輸送至各運動部件接觸面，確保轉(zhuǎn)子、葉片和泵腔內(nèi)壁之間的油膜持續(xù)穩(wěn)定。強制供油系統(tǒng)使泵在寬壓力范圍內(nèi)都能保持穩(wěn)定的潤滑狀態(tài)，從而實現(xiàn)排氣速度的一致性。

3.5 寬電壓馬達與國際認證

GLD-202AA配備了寬電壓馬達，可支持200-240V和380-460V的三相電源輸入，在50Hz和60Hz下均可正常工作。該產(chǎn)品通過了CE標志自我聲明，并取得了TUV認證——經(jīng)國際第三方進行產(chǎn)品安全測試及認證，符合歐洲標準的高質(zhì)量產(chǎn)品。寬電壓設(shè)計和國際認證使其在全球不同國家和地區(qū)均可便捷部署和使用。

3.6 大號油液位計

泵體上安裝了大尺寸的油液位視窗，便于操作人員隨時觀察真空泵油的油位和油質(zhì)狀況，及時發(fā)現(xiàn)油量減少或油品劣化問題，進行針對性的補充和更換。

3.7 法蘭電機設(shè)計

通過內(nèi)部零件上的定位銷和法蘭電機設(shè)計，泵體的組裝和拆卸更為便捷，大幅降低了維護操作的復(fù)雜度和工時。

四、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)特點

GLD-202AA在結(jié)構(gòu)設(shè)計上體現(xiàn)了愛發(fā)科對易用性和維護性的深入考量。吸氣管口徑為KF-25法蘭接口，標準配置為KF-25平法蘭（帶O型圈），與真空管路系統(tǒng)的連接簡便可靠。泵體長513.5 mm、寬170 mm、高240 mm的緊湊尺寸和29 kg的適中的重量使其易于集成到各類設(shè)備機柜中，同時便于搬運和安裝。

需要注意的是，GLD-202AA有日本產(chǎn)（GLD-202AA）和中國產(chǎn)（GLD-N202）兩種版本，核心性能參數(shù)一致，僅在產(chǎn)地和供應(yīng)渠道上有所區(qū)別。

五、應(yīng)用領(lǐng)域

GLD-202AA憑借其高抽速、高極限真空、氣鎮(zhèn)閥防污染能力和多項實用功能配置，在多個行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用：

• 理化實驗與實驗室分析：用于旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀、真空濃縮系統(tǒng)、真空干燥箱等化學(xué)實驗設(shè)備，氣鎮(zhèn)閥可有效處理溶劑蒸氣；

• 分析儀器配套：作為色譜、光譜等精密分析儀器的前級真空泵，低振動低噪聲特性確保對儀器的干擾最小化；

• 半導(dǎo)體與真空鍍膜：用于濺射設(shè)備、真空蒸鍍裝置等半導(dǎo)體制造設(shè)備的排氣系統(tǒng)，極限真空度達0.67 Pa，可滿足高真空工藝的前級抽氣要求；

• 電子顯微鏡：用作電子顯微鏡的背底真空泵，穩(wěn)定可靠的抽氣性能保障設(shè)備長期穩(wěn)定運行；

• 真空干燥與冷凍干燥：氣鎮(zhèn)閥設(shè)計使其特別適合含有水蒸氣的抽氣環(huán)境，是真空干燥器和冷凍干燥器的理想配套設(shè)備。

六、使用與維護要點

GLD-202AA在設(shè)計上充分考慮用戶需求，但在實際應(yīng)用中需注意以下事項：

真空泵油管理：真空泵油會隨運行時間而劣化，成為性能下降的主要原因。需定期檢查油位和油質(zhì)，及時補充或更換。推薦使用愛發(fā)科SMR-100專用真空泵油，油量為1,100 mL。

電機保護：該型號未內(nèi)置電機保護功能，建議外部配置電動機斷路器以保護電機免受過載損害。

運行壓力限制：不適用于在10 kPa及以上的高吸入壓力下連續(xù)運行，否則可能導(dǎo)致泵體過熱和油霧大量產(chǎn)生。

安全警示：嚴禁在排氣口關(guān)閉或排氣側(cè)氣體通道堵塞的情況下運行泵。泵內(nèi)壓力升高可能導(dǎo)致泵體爆裂、油位計彈出或電機過載，存在爆炸風(fēng)險。

停機操作：長時間停機時，應(yīng)將進氣側(cè)恢復(fù)至大氣壓狀態(tài)，以保護防逆流閥機構(gòu)并防止泵油吸入真空腔體。

七、總結(jié)

ULVAC愛發(fā)科GLD-202AA油回轉(zhuǎn)真空泵是一款在排氣速度、極限真空度、功能配置和使用便利性之間取得良好平衡的高性能油旋片泵。其兩級排氣系統(tǒng)實現(xiàn)0.67 Pa的低極限壓力，200 L/min（50Hz）/240 L/min（60Hz）的排氣速度覆蓋了廣泛的中低真空應(yīng)用需求。氣鎮(zhèn)閥設(shè)計使其在水蒸氣和溶劑蒸氣處理方面具有突出優(yōu)勢，防逆流機構(gòu)、強制供油機構(gòu)和大號油液位計等實用功能共同提升了設(shè)備的可靠性和維護便利性。寬電壓馬達和TUV國際認證保障了產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)的合規(guī)性與適應(yīng)性。

對于需要在實驗室、分析儀器、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜和真空干燥等領(lǐng)域獲得穩(wěn)定可靠、高性價比油旋片真空解決方案的用戶，GLD-202AA憑借其綜合性能優(yōu)勢，無疑是值得重點考慮的選擇。